塑料 薄膜厚度测量光学系统， （紫外氙灯+紫外光谱仪+探头）

膜厚测量一般根据白光干涉原理， d = (wave2 - wave1)/deltaWave * K ， 其中wave指的是波长，deltaWave指双峰的波长差，K指折射系数

一般白光干涉膜厚测量，只能测试较薄的薄膜，0.5um - 100um， 其中，0.5um的薄膜需要用到紫外光 200nm波段左右，10-50um的用到可见光500-600nm波段，而较厚的薄膜80um左右用到红外光800nm波段。白光干涉一般不使用与测超过100um的薄膜，超过100um，建议使用游标卡尺测量。

一般透明的薄膜，我们用透射测量膜厚，而不透明的，比如半导体刻蚀终点，我们使用反射进行膜厚测量

它结合了CMOS紫外光谱仪和氙气光源，以实现经济高效的解决方案。

CMOS紫外光谱仪

组合氙光源

来自JPN的CMOS探测器

来自美国/德国的硬件

1.集成的紫外光谱系统，它提供了一个完整的解决方案，将CMOS光谱仪与氙灯相结合，方便用户测量

2.稳定的紫外线测量，高性能氙气闪烁灯，特别是在紫外线区域，使其测量稳定

3.低成本，整个集成系统降低复杂性, 是一个完整的紫外测量方案.

UVS3系列亮点

CMOS探测器在UV紫外段性能良好

高灵敏度在紫外线区域波长范围180-500nm，200-400nm

信噪比800:1      *snr=(信号-噪声)/偏差

集成氙气光源

降低系统复杂度

具成本效益的紫外线光谱系统

支持扩展SDK，支持二次开发

SMA905光接口

完整的UVS3系统测量附件，如流通池

USB接口

用途

紫外分光光度计

紫外光谱测量

紫外光谱仪

紫外吸收光谱法

紫外吸光度，吸光度测量

透射率，透射系数测量

水质，总氮测量

吸光度计算，浓度计算

使用朗伯比尔定律，可以计算液体的浓度或者含量

蛋白质浓度测量

定量分析测量

应用举例一：膜厚测量

薄膜干涉测厚是一种非接触式测量薄膜厚度的方法。它利用光的干涉原理，通过测量干涉光的波长变化来确定薄膜的厚度。薄膜干涉色测量法:薄膜受到入射光的照射后，反射光根据薄膜的厚度和折射率的不同而产生干涉色。利用干涉色的变化可以确定薄膜的厚度。

测试步骤

1. 软件控制氙灯关闭，采集光谱设备电子噪声
   

2. 软件控制氙灯打开，用反射探头采集光谱信号，通过测量反射光的强度变化，并利用干涉公式计算薄膜的厚度

3. 薄膜干涉测厚方法具有测量快速、高精度、非接触等优点，广泛应用于半导体制造、光学材料、涂层工艺等领域.

应用举例：镜片镀膜，铝膜的厚度，厚度在1-10um，搭配氙灯，在紫外波段，使用反射法进行测量

应用举例：塑料透明薄膜的厚度，厚度在20-80um，使用透射法进行测量

测试过程

1. 关闭光源，采集光谱设备电子噪声

2. 打开光源，设置500ms曝光时间，放置白板，采集参比光谱

3. 移除白板，放置被测物，采集被测物光谱，

根据峰峰的间距和入射波长，我们可以计算出镀膜的厚度