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光学测量半导体涂层厚度

    

这里“正确”的涂层厚度很重要

应用在其中的区域的涂层厚度和非常薄的涂层确定功能或效率是很多的。在智能手机、技术或眼镜镜片、现代屏幕、汽车零件和油漆以及数百种其他产品的制造中,层厚和薄涂层非常重要。

而且在光伏(薄膜)、医疗技术、半导体、OLED 和光学等行业中,自支撑层(例如薄膜)、单层或多层系统也发挥着重要作用。

每一层的正确测量方法

抗反射涂层 (ARC)、光刻胶、硬涂层、透明导电氧化物 (TCO)、掺锡氧化铟 (ITO)、药物洗脱膜,甚至在可见光下不透明的硅等材料都可以使用多种传感器选择不同的光源、光斑尺寸和厚度测量范围。

我们的专家使用具有干涉测量和反射测量方法的光学层厚度传感器,因此可以无损地确定几毫米到 10 纳米的层厚度。

薄膜

超薄透明层可防止划痕并最大限度减少反射。你们都知道这种防刮涂层,无论是在塑料表面还是镜片上。除了功能涂层外,微电子上的细化层以及保护层和绝缘层越来越薄,而对质量和均匀性的要求也越来越高。层厚度和厚度变化通常是功能的决定性因素。


应用示例 1:非常薄的薄膜

作为一种选择,传感器可用于测量厚度为 2 µm 以上的薄箔,以评估箔上侧和下侧反射光的干扰。修改后的方法还可以对薄膜表面的表征进行形貌测量。两种传感器都可以在MicroProf ® 中组合使用。此外,反射计用于测量薄膜系统。使用 FTR 传感器,可以以 1 nm 的分辨率确定 10 nm 以上的层厚度。

应用实例2:镜片镀膜

在现代测量技术中,确定薄膜或什至层堆叠形式的光学涂层的厚度也特别重要。可以确定低至几纳米的层厚度,分辨率在亚纳米范围内。透镜粗糙度可以确定到亚纳米范围,并且可以执行样品表面的形貌测量。进一步的应用是镜片的缺陷检查。

薄膜厚度的 3D 可视化

我们的列设备不仅可以进行准时和轮廓薄膜厚度测量,而且还具有创新的 3D 映射模式,可以在更大的样品区域上确定薄膜厚度分布的均匀性。太阳能电池、技术玻璃、血糖试纸、CD 和 DVD 以及半导体和 MST 产品等涂层产品的制造商使用 3D 薄膜厚度图来快速识别可能的故障源和新的潜力,以优化其涂层工艺。