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可见光光谱系统

VIS3-350-1050半导体膜厚测量系统

Hightlight:
半导体膜厚测量系统
可见光和近红外波段
搭配长寿命闪烁氙灯
可见光/近红外光谱分析仪

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半导体膜厚测量系统 可见光


抖音视频演示

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B站的视频演示

https://www.bilibili.com/video/BV1sH4y1V7CD/



根据白光干涉原理,测量半导体膜厚

集成的可见光光谱分析仪

集成的卤钨灯/或者长寿命氙灯作为光源,宽光谱,长寿命

反射式探头


可以实现薄膜厚度测量

半导体镀膜厚度测量

眼镜镜片膜厚检测



应用举例一:膜厚测量案例


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测试系统搭建如上图

测量膜厚的厚度指标


1. 左边是卤钨灯350-2500nm光源,光源由德国进口的灯泡,或者长寿命氙灯

2. 反射式探头

3. 右侧是采用日本进口滨松探测器的光谱仪器 SPM3-350-1050,波长范围350-1050nm,分辨率最小0.6nm,美国产进口600线光栅,或者搭配SPM3-200-800波长范围200-800nm(关注紫外部分测试)

4. 搭配电脑,数据通过USB采集



应用举例:半导体膜厚测量


测试一过程

1. 关闭光源,采集光谱设备电子噪声

2. 打开光源,设置500ms曝光时间,放置白板,采集参比光谱

3. 移除白板,放置被测物,采集被测物光谱,



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根据峰峰的间距和入射波长,我们可以计算出镀膜的厚度



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