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紫外光谱系统

UVS3-180-500 薄膜厚度测量光学系统

Hightlight:
集成的紫外光学分析仪
集成的长寿命闪烁氙灯
内置探测探头
内部器件来自美国日本德国

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  • 产品介绍

UV3 CMOS 薄膜厚度测量光学系统, (紫外氙灯+紫外光谱仪+探头)


它结合了CMOS紫外光谱仪和氙气光源,以实现经济高效的解决方案。

CMOS紫外光谱仪

组合氙光源

来自JPN的CMOS探测器

来自美国/德国的硬件



1.集成的紫外光谱系统,它提供了一个完整的解决方案,将CMOS光谱仪与氙灯相结合,方便用户测量

2.稳定的紫外线测量,高性能氙气闪烁灯,特别是在紫外线区域,使其测量稳定

3.低成本,整个集成系统降低复杂性, 是一个完整的紫外测量方案.




UVS3系列亮点

CMOS探测器在UV紫外段性能良好

高灵敏度在紫外线区域波长范围180-500nm,200-400nm

信噪比800:1      *snr=(信号-噪声)/偏差

集成氙气光源

降低系统复杂度

具成本效益的紫外线光谱系统

支持扩展SDK,支持二次开发

SMA905光接口

完整的UVS3系统测量附件,如流通池

USB接口


用途

紫外分光光度计

紫外光谱测量

紫外光谱仪

紫外吸收光谱法

紫外吸光度,吸光度测量

透射率,透射系数测量

水质,总氮测量

吸光度计算,浓度计算

使用朗伯比尔定律,可以计算液体的浓度或者含量

蛋白质浓度测量

定量分析测量


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应用举例一:膜厚测量


薄膜干涉测厚是一种非接触式测量薄膜厚度的方法。它利用光的干涉原理,通过测量干涉光的波长变化来确定薄膜的厚度。薄膜干涉色测量法:薄膜受到入射光的照射后,反射光根据薄膜的厚度和折射率的不同而产生干涉色。利用干涉色的变化可以确定薄膜的厚度。



测试步骤

  1. 软件控制氙灯关闭,采集光谱设备电子噪声

  2. 软件控制氙灯打开,用反射探头采集光谱信号,通过测量反射光的强度变化,并利用干涉公式计算薄膜的厚度


  3. 薄膜干涉测厚方法具有测量快速、高精度、非接触等优点,广泛应用于半导体制造、光学材料、涂层工艺等领域.




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